Stratus S200 是 ASMPT NEXX 的晶圆电化学沉积平台,支持最多六种金属配置,可用于 UBM、RDL、射频滤波器和功率器件。翻新重点覆盖电镀单元、供液化学系统及多类型基片传输。
01
电镀单元与 ShearPlate 系统检查
02
供液、过滤与化学系统恢复
03
脆性及异形基片传输标定
04
膜厚、应力与均匀性验证
标准交付范围
设备健康评估报告 · 翻新过程记录 · 关键部件清单 · T0–T3 测试报告 · FAT / SAT 支持 · 质保服务
Stratus S200 是 ASMPT NEXX 的晶圆电化学沉积平台,支持最多六种金属配置,可用于 UBM、RDL、射频滤波器和功率器件。翻新重点覆盖电镀单元、供液化学系统及多类型基片传输。
电镀单元与 ShearPlate 系统检查
供液、过滤与化学系统恢复
脆性及异形基片传输标定
膜厚、应力与均匀性验证
设备健康评估报告 · 翻新过程记录 · 关键部件清单 · T0–T3 测试报告 · FAT / SAT 支持 · 质保服务
建立设备现状基线与风险项清单
按子系统执行拆检、修复与校准
完成连续运行及性能重复性测试
现场安装、联机与验收支持