Producer GT HARP

Producer GT 是 Applied Materials 的高产能 CVD 平台；HARP 配置用于高深宽比介质填充。翻新围绕工艺腔、TEOS / O₃ 供气、真空温控和晶圆传输系统展开，并以膜厚、均匀性及连续运行结果确认复机状态。