SUPREMA XP

SUPREMA 系列是 Mattson 用于光刻胶及工艺残留物清除的等离子干法去胶平台。翻新重点覆盖自由基源、工艺腔、气路排气、温控及晶圆传输，恢复去胶速率、均匀性和颗粒控制能力。