SEMVision G2 是 Applied Materials 的缺陷复检扫描电子显微镜(DR-SEM)。该平台用于对检测设备定位的缺陷进行高分辨率成像、分类和材料分析,翻新重点覆盖电子光学、真空、精密平台及自动化传输。
01
电子枪与电子光学系统检查
02
高真空及防震系统恢复
03
Stage 与 SMIF 传输标定
04
成像、缺陷复检与重复性验证
标准交付范围
设备健康评估报告 · 翻新过程记录 · 关键部件清单 · T0–T3 测试报告 · FAT / SAT 支持 · 质保服务
