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APPLIED MATERIALS量测检测

SEMVision G2

用于晶圆缺陷复检、分类与根因分析的自动化缺陷复检 SEM 平台。

PLATFORMDR-SEM / DEFECT REVIEW
WAFER SIZE200 mm
SERVICEREFURBISHMENT
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APPLIED MATERIALS SEMVision G2 翻新设备实机图
EQUIPMENT / 08 ENGINEERING CAPABLE
SERVICE SCOPE

系统性恢复,
不止于修复

SEMVision G2 是 Applied Materials 的缺陷复检扫描电子显微镜(DR-SEM)。该平台用于对检测设备定位的缺陷进行高分辨率成像、分类和材料分析,翻新重点覆盖电子光学、真空、精密平台及自动化传输。

01

电子枪与电子光学系统检查

02

高真空及防震系统恢复

03

Stage 与 SMIF 传输标定

04

成像、缺陷复检与重复性验证

标准交付范围

设备健康评估报告 · 翻新过程记录 · 关键部件清单 · T0–T3 测试报告 · FAT / SAT 支持 · 质保服务

01

全面诊断

建立设备现状基线与风险项清单

02

工程重建

按子系统执行拆检、修复与校准

03

稳定验证

完成连续运行及性能重复性测试

04

产线复机

现场安装、联机与验收支持

NEXT EQUIPMENTAPPLIED MATERIALS Producer GT HARP