VECTOR Express 源自 Novellus 的 VECTOR PECVD 产品家族，现归 Lam Research。其多站顺序沉积架构用于 300 mm 介质薄膜工艺；翻新覆盖工艺站、RF、气路真空、加热与晶圆传输系统。
01
多站 Process Module 重建
02
RF、气路与真空系统校验
03
加热盘与传输系统标定
04
膜厚、应力与重复性验证
标准交付范围
设备健康评估报告 · 翻新过程记录 · 关键部件清单 · T0–T3 测试报告 · FAT / SAT 支持 · 质保服务