SABRE NEXT 200

SABRE 是 Novellus（现 Lam Research）用于铜及其他金属电化学沉积的湿法平台。翻新聚焦电镀槽、化学液循环、晶圆旋转与清洗干燥单元，并通过膜厚均匀性和颗粒表现验证工艺恢复。